Open AccessSur l'utilisation de la résine UV210 se flashant en UV profond pour les circuits de photonique intégrée / optoélectroniques : processus de nanolithographie, propriétés physiques et structures réalisées
Author(s) -
Hervé Lhermite,
Alain Moréac,
Bruno Bêche
Publication year - 2021
Publication title -
hal (le centre pour la communication scientifique directe)
Language(s) - French
Resource type - Conference proceedings
Subject(s) - chemistry , humanities , physics , art