Open AccessModélisation du collage moléculaire à l'aide d'un modèle cohésif et une stratégie de contact non linéaire : application au collage de wafer de silicium ou de pièces métal/métal
Author(s) -
Rafaël Estevez,
Guillaume Parry,
Patrick McGarry
Publication year - 2013
Publication title -
hal (le centre pour la communication scientifique directe)
Language(s) - French
Resource type - Conference proceedings
Subject(s) - materials science , anodic bonding , misorientation , silicon , wafer , mechanical engineering , optoelectronics , optics , composite material , physics , microstructure , engineering , grain boundary
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