Open AccessModélisation du collage moléculaire à l'aide d'un modèle cohésif et une stratégie de contact non linéaire : application au collage de wafer de silicium ou de pièces métal/métal
Author(s) -
Rafael Estévez,
Guillaume Parry,
Patrick McGarry
Publication year - 2013
Publication title -
hal (le centre pour la communication scientifique directe)
Language(s) - French
Resource type - Conference proceedings
Subject(s) - wafer , mod , physics , materials science , computer science , optoelectronics , artificial intelligence