Open AccessДИФФУЗИЯ ФОСФОРА В ОКИСНОМ СЛОЕ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ
Author(s) -
薛士蓥 李克诚
Publication year - 1965
Publication title -
wuli xuebao
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.199
H-Index - 47
ISSN - 1000-3290
DOI - 10.7498/aps.21.496
Subject(s) - materials science