Open AccessArtefatos causados pelo feixe de íons Ga durante o preparo de amostras de silício no microscópio de íons focalizados (FIB)
Author(s) -
Fabio Zuim,
André L. Rossi
Publication year - 2017
Publication title -
notas técnicas
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 2236-7640
pISSN - 0101-9201
DOI - 10.7437/nt2236-7640/2017.02.007
Subject(s) - physics , humanities , philosophy