Распыление CaCo3 мишени при бомбардировке кластерными ионами Bim+

Приведены экспериментальные результаты измерения выхода вторичных ионов и ней[1]тральных атомов кальция при бомбардировке CaCO3 мишени кластерными ионами Bim + (m=1−5) в диапазоне энергий 1−10 кэВ. В масс-спектрах вторичной ионной эмиссии CaCO3 мишени преобладали атомарные ионы кальция. Это обстоятельство связано с малыми потенциалами ионизации атомов кальция и соответственно высокой эффективностью ионизации при распылении. Рассчитаны выходы вторичных ионов и нейтральных атомов кальция при бомбардировке CaCO3 мишени кластерными ионами Bim + (m=1-5) в диапазоне энергий 1-10 кэВ. Выявлено, что по сравнению с выходом вторичных ионов кальция наблюдается более выраженный неаддитивный рост нейтральных атомов с увеличением количества атомов в бомбардирующих кластерных ионах.