Open AccessСТРУКТУРЫ КЛАСТЕРОВ SinOm +, РАСПЫЛЕННЫХ ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ
Author(s) -
С. Е. Максимов,
Х. Б. Ашуров,
М.М. Адилов,
Sergey Kovalenko,
О. Ф. Тукфатуллин,
Ш. Т. Хожиев
Publication year - 2019
Publication title -
uzbek journal of physics
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
ISSN - 2181-077X
DOI - 10.52304/.v21i5.131
Subject(s) - materials science
С использованием ионного микроанализатора с двойной фокусировкой обратной геометрии исследованы кластеры SinOm+, распыленные с поверхности Si ионами Xe+ при напуске кислорода на поверхность. Представлены предполагаемые структурные схемы кластерных катионов, проведено сравнение со структурами нейтралей и анионных кластеров оксида кремния.