Open AccessМОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА РОСТА И УПРАВЛЕНИЕ ФОРМИРОВАНИЕМ НАНОЧАСТИЦ КРЕМНИЯ В ПЫЛЕВОЙ ПЛАЗМЕ
Author(s) -
Р.Х. Ашуров,
Б.Е. Умирзаков,
Б. Л. Оксенгендлер,
В.М. Ротштейн,
Х. Б. Ашуров
Publication year - 2019
Publication title -
uzbek journal of physics
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
ISSN - 2181-077X
DOI - 10.52304/.v21i3.67
Subject(s) - chemistry
Предложена физическая модель процесса роста наночастиц кремния в форме SiH+3 →SiH03 на основе схемы Мотта-Герни. Разработана концепция процесса формирования наночастиц из моносилана с учетом перезарядки и остановки роста. Осуществлен рост наночастиц кремния в пылевой плазме при различных давлениях моносилана. Показано, что зависимость размера частиц от давления моносилана подтверждает достоверность предложенной концепции.