МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА РОСТА И УПРАВЛЕНИЕ ФОРМИРОВАНИЕМ НАНОЧАСТИЦ КРЕМНИЯ В ПЫЛЕВОЙ ПЛАЗМЕ | Zendy

Р.Х. Ашуров | Zendy; Б.Е. Умирзаков | Zendy; Б. Л. Оксенгендлер | Zendy; В.М. Ротштейн | Zendy; Х. Б. Ашуров | Zendy

AI Assistant Blog Pricing

Home ZAIA Blog

Open Access

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА РОСТА И УПРАВЛЕНИЕ ФОРМИРОВАНИЕМ НАНОЧАСТИЦ КРЕМНИЯ В ПЫЛЕВОЙ ПЛАЗМЕ

Author(s) -

Р.Х. Ашуров,

Б.Е. Умирзаков,

Б. Л. Оксенгендлер,

В.М. Ротштейн,

Х. Б. Ашуров

Publication year - 2019

Publication title -

«узбекский физический журнал»

Language(s) - Russian

Resource type - Journals

ISSN - 2181-077X

DOI - 10.52304/.v21i3.67

Subject(s) - chemistry

Предложена физическая модель процесса роста наночастиц кремния в форме SiH+3 →SiH03 на основе схемы Мотта-Герни. Разработана концепция процесса формирования наночастиц из моносилана с учетом перезарядки и остановки роста. Осуществлен рост наночастиц кремния в пылевой плазме при различных давлениях моносилана. Показано, что зависимость размера частиц от давления моносилана подтверждает достоверность предложенной концепции.

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research