Open AccessВЛИЯНИЕ МАССЫ ПЕРВИЧНЫХ ИОНОВ НА ОБРАЗОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ И КЛАСТЕРОВ НА ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ Si
Author(s) -
Utkir Bahodirovich Sharopov,
Б.Г. Атабаев,
Р. Джаббарганов,
Александр Ахмедович Рахматов,
Владислав Геннадьевич Стельмах,
И. Мирзахмедов,
Х.И. Жабборов
Publication year - 2019
Publication title -
uzbek journal of physics
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
ISSN - 2181-077X
DOI - 10.52304/.v21i1.48
Subject(s) - trim , computer science , operating system
Исследовано влияние массы первичных ионов на образование дефектов и кластеров на поверхности кристаллов кремния методом ВИМС и TRIM. Показано, что образованные междоузельные дефекты на поверхности приводят к распылению кластерных ионов, а вакансии влияют на порог образования решеточных ионов.