Open AccessК ВОПРОСУ О ГЕНЕРАЦИИ ПЛАЗМЕННОГО ПОТОКА ВАКУУМНЫМ ДУГОВЫМ РАЗРЯДОМ И ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
Author(s) -
В. Н. Арустамов,
Х. Б. Ашуров,
И. Х. Худайкулов,
Bobur Kakhramonov
Publication year - 2018
Publication title -
uzbek journal of physics
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
ISSN - 2181-077X
DOI - 10.52304/.v20i3.90
Subject(s) - computer science
Предложена концепция формирования эффективной генерации плазменного потока вакуумнодуговым разрядом, в основе которой лежат функциональные системы инициирования вакуумного дугового разряда с необходимыми характеристиками, генерации потока эродированного материала в области взаимодействия катодных пятен вакуумной дуги с рабочей поверхностью катода, их стабилизации в рабочей зоне на поверхности катода, отвода тепла от электродов и конструктивных элементов, обеспечивающих их тепловой режим.