Open AccessО ПОВЕРХНОСТНЫХ СТРУКТУРНЫХ ПРЕВРАЩЕНИЯХ, НАБЛЮДАЕМЫХ В Si(111) И Si(100) В ПРОЦЕССЕ ФОРМИРОВАНИЯ СИЛИЦИДНЫХ ПЛЕНОК
Author(s) -
А. С. Рысбаев,
M. T. Normurodov,
I. R. Bekpulatov,
Abdulla Rakhimov,
B. D. Igamov
Publication year - 2018
Publication title -
uzbek journal of physics
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
ISSN - 2181-077X
DOI - 10.52304/.v20i3.87
Subject(s) - materials science
В работе методами электронной спектроскопии, просвечивающей растровой электронной микроскопии и дифракции медленных электронов исследованы процессы формирования тонких наноразмерных пленок силицидов Ва и щелочных элементов при их низкоэнергетической и высокодозной имплантации в Si(111) и Si(100). Определены оптимальные технологические режимы получения силицидных пленок. Показано, что образующиеся пленки силицидов металлов имеют новые, отличные от чистого кремния, сверхструктуры. Приводится анализ полученных результатов.