Open AccessНЕКОТОРЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛЁНОЧНЫХ СТРУКТУР, ПОЛУЧЕННЫХ ВАКУУМНЫМ ОСАЖДЕНИЕМ
Author(s) -
B. M. Abdurakhmanov,
М. Х. Ашуров,
Х. Б. Ашуров,
M. U. Kalanov,
Ш.К. Кучканов,
B. R. Kutlimurotov,
С. Е. Максимов,
С.Ж. Ниматов
Publication year - 2018
Publication title -
uzbek journal of physics
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
ISSN - 2181-077X
DOI - 10.52304/.v20i3.86
Subject(s) - materials science
Показана возможность с использованием ионного стимулирования снизить до 900−1100 К температуру эпитаксии для получения достаточно совершенных пленок в процессе вакуумного осаждения. Приводятся результаты комплекса исследований полученных пленок.