Open AccessNano-oxidação do Silício: Influência dos Processos de Crescimento Convencional e Pirogênico na Qualidade e na Uniformidade dos óxidos finos Obtidos em Superfícies Irregulares Contendo Degraus Abruptos
Author(s) -
Ricardo de Souza,
Willian Aurélio Nogueira,
Sebastião Gomes dos Santos Filho
Publication year - 2006
Publication title -
physicae
Language(s) - Portuguese
Resource type - Journals
eISSN - 2236-3521
pISSN - 1679-9569
DOI - 10.5196/physicae.6.4
Subject(s) - physics , mathematics