Open AccessP3.03 - Eigenschaften von Samariumsulfidschichten für Sensoranwendungen
Author(s) -
A. Delan,
R. Ngoumeni,
K. Vondkar,
D. Glöß,
Günter Gerlach
Publication year - 2017
Publication title -
tagungsband
Language(s) - German
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.5162/13dss2017/p3.03
Subject(s) - computer science
Samariummonosulfid (SmS) ist ein Typ-n-Halbleiter mit einer Energielücke von etwa 0,2 eV. Es weist eine Reihe besonderer Eigenschaften hinsichtlich seiner Energiebandstruktur auf, aus der sich ein starker Einfluss mechanischer Effekte auf den Widerstand und ausgezeichnete optische Schalteigenschaften ergeben. Damit ist SmS für verschiedene Anwendungen in der Sensorik (z.B. Drucksensoren, Dehnungsmessstreifen) und in der Optik interessant. Dieser Beitrag stellt die Herstellung von SmS-Targets für die Abscheidung dünner SmS-Schichten mittels Magnetron-Sputtern vor. Die SmS-Schichten werden bzgl. der Stöchiometrie und der elektrischen und optischen Eigenschaften charakterisiert und Sensoranwendungen diskutiert