F15 - Chemische Sensoren mit Bariumstrontiumtitanat als funktionale Schicht zur Multiparameterdetektion | Zendy

Christiane HUCK | Zendy; Arshak Poghossian | Zendy; Mathias De Backer | Zendy; Wolfgang Zander | Zendy; J. Schubert | Zendy; L.H. Sukoyan | Zendy; V. Begoyan | Zendy; V.V. Buniatyan | Zendy; P. Wagner | Zendy; Matthias Schöning | Zendy

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F15 - Chemische Sensoren mit Bariumstrontiumtitanat als funktionale Schicht zur Multiparameterdetektion

Author(s) -

Christiane HUCK,

Arshak Poghossian,

Mathias De Backer,

Wolfgang Zander,

J. Schubert,

L.H. Sukoyan,

V. Begoyan,

V.V. Buniatyan,

P. Wagner,

Matthias Schöning

Publication year - 2013

Publication title -

tagungsband

Language(s) - German

Resource type - Conference proceedings

DOI - 10.5162/11dss2013/f15

Subject(s) - physics

Die herausragenden multifunktionalen Materialeigenschaften und die große Vielfalt in der stöchiometrischen Zusammensetzung von Perowskit-Oxiden wie beispielsweise Bariumstrontiumtitanat (BST) haben großes Interesse bei der Herstellung von Chemo- und Biosensoren für Flüssigkeiten geweckt. In diesem Beitrag werden BST-Dünnfilme als funktionale Schicht für die Multiparameterbestimmung von pH-Wert, Elektrolytleitfähigkeit sowie für die Detektion von geladenen Makromolekülen verwendet. Zur pH-Wertmessung wurde ein kapazitiver Feldeffektsensor mit einer BST-Schicht als alternativem Gatematerial, zur Messung der Elektrolytleitfähigkeit und zur Detektion von geladenen Makromolekülen wurden Platin-Interdigitalelektroden (IDE) mit einer BST-Schicht als Isolatormaterial und funktionale Schicht verwendet. Die BST-Schichten wurden mittels gepulster Laserdeposition (PLD) auf die jeweiligen Sensorstrukturen abgeschieden

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