Open AccessAbschlussbericht ESF Nachwuchsforschergruppe E-PISA : Energieautarke, drahtlose piezoelektrische MEMS Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik und Industrie 4.0
Author(s) -
Simon Böttger,
David L. Kriebel,
Katja Meinel,
Dmytro Solonenko,
M. Stiebing,
Chris Stöckel
Publication year - 2020
Language(s) - German
Resource type - Reports
DOI - 10.51382/2020.1
Subject(s) - physics
Im ESF geförderten Projekt E-PISA sind verschiedene, hoch innovative, von der globalen Forschungslandschaft ausgezeichnete und gleichzeitig industrierelevante technische Entwicklungen im Bereich der Mikrosystemtechnik, Medizintechnik und Industrie 4.0 vorangetrieben worden. Fokus der technischen Entwicklung waren zum einen Grundlagenforschung und zum anderen Applikationen von Mikrosystemen auf Basis piezoelektrischer Dünnschichten mit Aluminiumnitrid und Elektronik mit Carbon-Nano-Tubes.