
Uso de cálculos computacionais para auxílio ao projeto e análise de revestimentos antirrefletores para sensores de infravermelho
Author(s) -
Giordano Bruno Crepaldi De Simone,
G. S. Vieira
Publication year - 2019
Publication title -
revista brasileira de física tecnológica aplicada
Language(s) - Portuguese
Resource type - Journals
ISSN - 2358-0089
DOI - 10.3895/rbfta.v6n2.9703
Subject(s) - physics , humanities , art
Buscando melhoria do desempenho de fotodetectores construídos sobre substrato de fosfeto de índio (InP), o presente trabalho mostra como cálculos computacionais, relativamente simples, permitem obter parâmetros ideais para escolha de materiais adequados à deposição de revestimentos antirrefletores (RAR), além de auxiliar na análise desses filmes. Por conta de seu índice de refração próximo do ideal, a alumina (Al2O3) foi identificada como uma boa opção de material para RAR. Utilizando a mesma metodologia, determinamos a espessura ideal da cama. Filmes reais foram depositados, por evaporação induzida por feixe eletrônico, e caracterizados. Os cálculos permitiram interpretar os dados coletados e determinar os índices de refração efetivamente obtidos. O experimento mostrou diminuições expressivas das refletâncias médias, tanto em substratos de InP sem camadas epitaxiais, quanto em substratos de InP com camadas epitaxiais de arseneto de gálio e índio, InGaAs. Os cálculos também permitiram identificar caminhos a seguir para melhorar o resultado.