Open AccessИсследование наноструктур различной геометрии методом растровой электронной микроскопии
Author(s) -
Д.В. Панов,
Г.Г. Бондаренко,
С.А. Бедин,
И.М. Долуденко,
Д.Л. Загорский
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.99.41.066
Subject(s) - computer science