Open AccessКомплексный подход к исследованию структуры тонкой пленки NbNx в многослойной системе Si/SiO2/HfO2/NbNx
Author(s) -
А.П. Сиротина,
Е.А. Першина,
М.В. Шибалов,
Н.В. Порохов,
В.С. Белов,
А.М. Мумляков,
М.А. Тархов
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.95.88.025
Subject(s) - materials science , computer science