Open AccessИсследование влияния облучения низкоэнергетичным электронным пучком на вольт-фарадные характеристики SiO2
Author(s) -
Ю. О. Куланчиков,
П. С. Вергелес,
Е. Б. Якимов
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.85.72.070
Subject(s) - computer science