Open AccessИсследование поперечного среза гетероструктур Ge/Si/SiO2/Si(100)
Author(s) -
A. A. Sushkov,
Dmitry Pavlov,
В. Г. Шенгуров,
С. А. Денисов,
В.Ю. Чалков,
M. N. Mineev,
A. G. Gagarin
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.71.56.038
Subject(s) - silicon , computer science , materials science , optoelectronics