Open AccessКоличественная характеризация атомарной структуры ионно-имплантированного кремния методами электронной микроскопии и молекулярно-динамического моделирования
Author(s) -
Н.И. Боргардт,
А.В. Румянцев,
А.С. Приходько
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.71.35.004
Subject(s) - computer science