Open AccessСтруктура и морфология пленок β-SiC, синтезированных в атмосфере метана
Author(s) -
A. A. Sinelnikov,
С. А. Солдатенко,
С.В. Канныкин
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.70.88.050
Subject(s) - computer science