Open AccessПолучение субмикронных слоев оксида вольфрама и титана термическим окислением металлических плёнок в атмосфере воздуха
Author(s) -
В. В. Томаев,
Е. В. Сохович,
С. В. Мякин,
М.М. Сычёв,
В. А. Полищук,
А. А. Семёнова
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.58.12.085
Subject(s) - computer science