Open AccessИсследование влияния параметров электронного облучения на электрофизические свойства SiO2/Si структур и рост графеноподобных пленок
Author(s) -
М. А. Князев,
Д. М. Седловец,
O. A. Soltanovich,
S. Koveshnikov
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.44.60.025
Subject(s) - computer science