Open AccessСпособ коррекции ЭДС-анализа силикатной тонкой плёнки на массивной подложке в СЭМ
Author(s) -
А.В. Мохов,
Т.А. Горностаева,
А.П. Рыбчук
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.43.50.040
Subject(s) - computer science