Open AccessИсследование аморфных и кристаллических кластеров германия в плёнка GeSixOy
Author(s) -
Г.К. Кривякин,
В. А. Володин,
М.П. Гамбараян,
С.Г. Черкова,
M. Stoffel,
H. Rinnert,
M. Vergant
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.40.88.007
Subject(s) - computer science