Open AccessОсобенности роста эпитаксиальных пленок Ge3Sb2Te6 для фазовой памяти на подложке Si (111) по данным электронной микроскопии
Author(s) -
Ю.С. Зайцева,
А.С. Приходько,
Н.И. Боргардт,
E. Zallo,
R. Calarco
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.28.47.083
Subject(s) - computer science