Open AccessЭффекты накопления заряда в диэлектриках при исследовании методами сканирующей ионной микроскопии
Author(s) -
Ю.В. Петров,
А.Э. Аникьева,
Е.А. Григорьев,
А.П. Барабан,
О.Ф. Вывенко
Publication year - 2020
Publication title -
xxviii российская конференция по электронной микроскопии и vi школа молодых учёных "современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарные методы в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Conference proceedings
DOI - 10.37795/rcem.2020.17.17.060
Subject(s) - computer science