Open AccessBeheerde etsing van die SiC-laag in TRISO-bedekte partikels in 'n nie-termiese CF plasma
Author(s) -
Renier Koen,
I.J. van der Walt,
Arnold A. Jansen,
Philip Crouse
Publication year - 2020
Publication title -
suid-afrikaanse tydskrif vir natuurwetenskap en tegnologie/die suid-afrikaanse tydskrif vir natuurwetenskap en tegnologie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 2222-4173
pISSN - 0254-3486
DOI - 10.36303/satnt.2020.39.1.748
Subject(s) - die (integrated circuit) , materials science , medicine , nanotechnology