
Langmuir szondás mérések magnetronos porlasztó rendszerben
Author(s) -
S. Papp,
László Jakab-Farkas,
D. Bı́ró
Publication year - 2012
Publication title -
fiatal müszakiak tudományos ülésszaka
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 2668-3792
pISSN - 2067-6808
DOI - 10.36243/fmtu-2012.069
Subject(s) - physics , mathematics