z-logo
open-access-imgOpen Access
Формирование 2D структур Si на виртуальных подложках CaF2 / Кацюба А.В., Камаев Г.Н., Володин В.А., Двуреченский А.В.
Author(s) -
На Виртуальных Подложках Caf
Publication year - 2019
Publication title -
тезисы докладов xiv российской конференции по физике полупроводников «полупроводники-2019»
Language(s) - Russian
DOI - 10.34077/semicond2019-378
Subject(s) - materials science , silicon , crystallography , chemistry , optoelectronics
Силицен представляет собой двумерную (2D) сотовую решетку атомов кремния. Во многом егосвойства напоминают свойства графена; например, у силицена аналогично высокая подвижностьносителей заряда и структура низкоэнергетических зон в форме конуса Дирака в углах зоныБриллюэна. Однако, экспериментальные данные указывают, что силицен существенно отличается отграфена по атомной структуре, электронным свойствам, стабильности. [1]. Силицен обычновыращивается путем осаждения атомов Si на поверхность металлических подложек, например Ag(111). В данной работе исследовалась возможность получения силицена на поверхности CaF2,эпитаксиально выращенного на подложке Si(111).Фторид кальция является монокристаллическим веществом с решеткой типа флюорита. Этокубическая гранецентрированная решетка, имеющая пространственную группу Fm3m, с постояннойрешеткой 5,462 [2]. Интерес к гетеросистеме CaF2/Si объясняется, прежде всего, тем, что в этойсистеме достаточно малое различие в параметрах кристалических решеток.Для получения 2D структур, на подложку Si(111), после стандартной обработки, осаждалось 10нм CaF2 при температуре 550 оС и скорости осаждения 0.2 А/с. Далее, в одном случае подложкаостужалась до комнатной температуры и осаждался один монослой Si (N2), после этого образецотжигался при температуре 600 оС. В другом случае Si осаждался при температуре 550оС(N3). Длязащиты Si от окисления осаждался тонкий капсулирующий слой CaF2 толщиной 3 нм. После этогообразцы исследовались методом комбинационного рассеяние света(КРС).

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.
Having issues? You can contact us here