Рассеяние на латеральных границах в подвешенных микроструктурах с двумерным электронным газом / Шевырин А.А., Погосов А.Г., Бакаров А.К., Шкляев А.А.

Незеркальное рассеяние на шероховатостях латеральных границ [1] становится существеннымв наноструктурах, сформированных путем глубокого плазмохимического травления, таких какэлектронные биллиарды, решетки антиточек и квантовые точечные контакты, осложняя наблюдениеявлений баллистического электронного транспорта. Настоящая работа посвящена исследованиютаких эффектов в подвешенных микроструктурах с двумерным электронным газом, формированиекоторых требует глубокого травления до жертвенного слоя. Для выявления особенностей электронного транспорта в узких подвешенных мембранахпроведено экспериментальное измерение и сравнение магнетотранспортных характеристикподвешенных и неподвешенных холловских мостиков различной длины (30-110 мкм) и ширины (3-50мкм). Толщина подвешенных мостиков составляла 166 нм. Измерения проводились в поперечныхмагнитных полях величиной до 0,6 Т при температурах 1,6-4,2 К. Обнаружено, что продольноемагнетосопротивление узких (3 мкм) неподвешенных холловских мостиков демонстрирует пики вмагнитных полях, соответствующих циклотронному радиусу порядка ширины мостиков. Появлениетаких пиков может объясняться влиянием рассеяния на шероховатостях латеральной границы,формируемой с помощью реактивно-ионного травления. Магнетосопротивление широких (50 мкм)холловских мостиков подобных пиков не демонстрирует. Обнаружено, что подвешивание узкиххолловских мостиков может уменьшать влияние рассеяния на шероховатой границе, что приводит кподавлению соизмеримых пиков, объяснимому увеличением ширины областей краевого обеднения.Альтернативное объяснение исчезновения соизмеримых пиков при подвешивании можетбазироваться на том факте, что подвижность носителей заряда уменьшается с 350000 до 220000см2В-1с-1; при этом длина свободного пробега уменьшается с 4,1 до 2,2 мкм и становится меньшейширины мостика, что может делать соизмеримые пики, имеющие баллистическую природу,ненаблюдаемыми.