Open AccessДиффузия атомов водорода в пленках Si, выращенных из молекулярных пучков на диэлектрических слоях Si3N4 и SiO2 / Чиж К.В., Арапкина Л.В., Ставровский Д.Б., Уваров О.В., Гайдук П.И., Юрьев В.А.
Publication year - 2019
Publication title -
тезисы докладов xiv российской конференции по физике полупроводников «полупроводники-2019»
Language(s) - Uncategorized
DOI - 10.34077/semicond2019-137
Subject(s) - silicon nitride , materials science , silicon , crystallography , chemistry , optoelectronics