Open AccessТехнология получения пленок и слоев теллура с высоким структурным совершенством и их электрофизические свойства / Кузьмин А. О., Исмаилов А.М., Рабаданов М.Р., Шапиев И.М., Алиев И.Ш.
Publication year - 2019
Publication title -
тезисы докладов xiv российской конференции по физике полупроводников «полупроводники-2019»
Language(s) - Uncategorized
DOI - 10.34077/semicond2019-110
Subject(s) - physics