Процессы формирования упорядоченных двумерных фаз кремния (пористого силицена) на поверхности g-Si3N3/Si(111)
Author(s) -
В. Г. Мансуров,
Ю.Г. Галицын,
Т. В. Малин
Publication year - 2021
Publication title -
фотоника-2021 : тезисы докладов российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники
Language(s) - Russian
DOI - 10.34077/rcsp2021-67
Subject(s) - materials science
В данной работе исследовались процессы формирования упорядоченных фаз кремния ивозможность синтеза силицена на графеноподобных слоях g-Si3N3 и g-AlN, которые предварительноформировались на поверхности Si(111), по технологии предложенной нами ранее.
Accelerating Research
Robert Robinson Avenue,
Oxford Science Park, Oxford
OX4 4GP, United Kingdom
Address
John Eccles HouseRobert Robinson Avenue,
Oxford Science Park, Oxford
OX4 4GP, United Kingdom