Быстродействующие болометрические матричные детекторы

Для развития неохлаждаемых болометрических быстродействующих матричных детекторов вприменениях, где требуется фиксация быстроизменяющихся событий, например, для пеленгациибыстродвижущихся тепловых объектов, были рассмотрены возможности оптимизации параметров ихарактеристик матричных неохлаждаемых микроболометрических фотоприемных устройств (ФПУ),выпускаемых «ОКБ «Астрон». Нами определены конструктивные и технологические решения по ихразработке, направленные на реализацию требований по функционированию перспективных ОЭС.[1,2]Рассмотрение проведено в рамках общепринятой теории поглощения ИК излучения итеплофизических процессов, протекающих в мембранных МЭМС-структурах. Представленырезультаты их моделирования, позволяющие провести оптимизацию конструкции и ее реализации сиспользованием современных технологических процессов формирования высокоэффективныхмикроболометрических элементов с учетом требований конкретных применений.