Open AccessСкрайбирование кремниевых приборных пластин лазерным излучением в водной среде
Author(s) -
А.Р. Новоселов
Publication year - 2021
Publication title -
фотоника-2021 : тезисы докладов российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники
Language(s) - Russian
DOI - 10.34077/rcsp2021-154
Subject(s) - medicine
Исследовано воздействие процесса скрайбирования лазерным излучением в водной среде накремниевые СБИС, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения.Особенностью лазерного скрайбирования в водной среде является быстрое охлаждение расплававодой и, как результат, полное отсутствие расплава в канавке и на поверхности приборной пластины.