Скрайбирование кремниевых приборных пластин лазерным излучением в водной среде | Zendy

А.Р. Новоселов | Zendy

AI Assistant Blog Pricing

Home ZAIA Blog

Open Access

Скрайбирование кремниевых приборных пластин лазерным излучением в водной среде

Author(s) -

А.Р. Новоселов

Publication year - 2021

Publication title -

фотоника-2021 : тезисы докладов российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники

Language(s) - Russian

DOI - 10.34077/rcsp2021-154

Subject(s) - medicine

Исследовано воздействие процесса скрайбирования лазерным излучением в водной среде накремниевые СБИС, применяемые в гибридных фотоприёмниках инфракрасного излучения.Особенностью лазерного скрайбирования в водной среде является быстрое охлаждение расплававодой и, как результат, полное отсутствие расплава в канавке и на поверхности приборной пластины.

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research