Open AccessВыбор оптимальной структуры фоточувствительной гибридной сборки на охлаждаемом пьедестале криостата
Author(s) -
П.С. Загубисало,
А.Р. Новоселов
Publication year - 2021
Publication title -
фотоника-2021 : тезисы докладов российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники
Language(s) - Russian
DOI - 10.34077/rcsp2021-151
Subject(s) - materials science , optoelectronics
Проведено сравнение известных способов фиксации фоточувствительной гибридной сборки наохлаждаемом пьедестале криостата. Оно осуществлялось на модели сборки, состоящей из пластин:GaAs / In / Si / GaAs (опциональный компенсационный слой). Способы фиксации: закрепление сборки,позволяющее свободно изгибаться при охлаждении, жесткое крепление сборки на сапфировом растресо стороны кремниевой микросхемы. Варьирование толщин в рамках сравниваемых способовфиксации, позволило выбрать оптимальную конструкцию крепления гибридной сборки в охлаждаемомкриостате. Исследование проводилось с помощью радиально-симметричной модели, в которойнапряжения при охлаждении моделировались методом конечных элементов. Диаметр всех слоёвравнялся 10 мм. Толщины слоёв GaAs и кремния варьировались от 50 мкм до 700 мкм,компенсационного слоя GaAs – от 0 мкм до 700 мкм. Толщина слоя сапфира бралась много большеисследованных толщин GaAs и кремния.