Open AccessФормирование светоизлучающих и фотодетектирующих в ИК-области тонкослойных структур Ge:Sb/Ge методами ионной имплантации, вакуумного осаждения и импульсного отжига
Publication year - 2019
Publication title -
тезисы докладов российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «фотоника-2019»
Language(s) - Uncategorized
DOI - 10.34077/rcsp2019-163
Subject(s) - antimony , germanium , materials science , crystallography , chemistry , metallurgy , silicon