Технологические подходы к созданию мозаичных фотоприемников сверхвысокой размерности с предельной эффективностью преобразования изображений

Потребность увеличения пространственного разрешения тепловизионных систем стимулируетсоздание фотоприемников сверхвысокой размерности для соответствующих спектральныхдиапазонов. Прямое увеличение количества фоточувствительных элементов (ФЧЭ) в фотоприемникеведет к значительному увеличению площади кристаллов кремниевых мультиплексоров (КМ) иматрицы ФЧЭ. При увеличении площади кристаллов уменьшается выход годных изделий, чтонепосредственно определяет высокую стоимость приборов [1].Мозаичная технология является одним из перспективных технических решений кардинальногоувеличения форматов приемников. Мозаичные фотоприемники (МФП) создают посредствомтехнологии микросборки субмодулей приемлемогодля изготовления формата. Основной проблемойМФП являются "слепые зоны" - области вдольлиний стыковки смежных субмодулей, в которыхотсутствуют ФЧЭ [1].Поисковые научные исследования,направленные на создание мозаичной технологииприемников сверхвысокой размерности дляинфракрасного (ИК) и терагерцового (ТГц)диапазонов, обеспечили развитие технологическихподходов к изготовлению МФП с предельнойэффективностью преобразования изображений.Один из перспективных способов создания МФПзаключается в том, что фотоприемные субмодули(2) устанавливают на заданные места пластиныносителя (1) внутри опорной прямоугольной рамки (5.1), внутренние размеры которой соответствуютразмерам МФП (рис.); фиксацию всех субмодулей осуществляют одновременно, подачей вакуума котверстиям в пластине-носителе для самосовмещения и позиционирования кристаллов призатвердевании слоев удерживающего материала под субмодулями; формирование внутренних гранейопорной прямоугольной рамки выполняют прецизионно, с обеспечением шероховатости не более 1мкм [1].Полученные результаты могут увеличить точность позиционирования субмодулей в составе МФП,повысить технологичность способа изготовления МФП, упростить технологию изготовления,уменьшить трудоемкость изготовления и снизить стоимость МФП.