Open AccessМаніпулятор для сверхвисоковакуумних фотоелектронних та електрон-електронних спектрометрів
Author(s) -
І.Д. Чернікова,
М.Г. Черніков,
Т.А. Беседа
Publication year - 2020
Publication title -
vìsnik shìdnoukraïnsʹkogo nacìonalʹnogo unìversitetu ìmenì volodimira dalâ
Language(s) - Ukrainian
Resource type - Journals
eISSN - 2664-6498
pISSN - 1998-7927
DOI - 10.33216/1998-7927-2020-260-4-141-143
Subject(s) - political science
Потреби техніки і технологій привели до різкого прискорення науково-дослідних і дослідно-конструкторських робіт в області вакуумної техніки. Одними з основних елементів вакуумної системи при проведенні технологічних операцій і експериментальних робіт є вакуумні вводи. За типом сполук їх поділяють на рухомі і нерухомі. Як нерухомі вводи ‒ зазвичай застосовуються електричні вводи. За кількістю ступенів переміщення рухливі вводи діляться на одно- і багатоступінчасті. Вводи, які мають велику кількість ступенів переміщення, називаються маніпуляторами. Розглянуто прецезіонний триступеневий маніпулятор для високовакуумних установок, що застосовуються при дослідженні поверхні твердих тіл методами фотоелектронної, вторинно електронної, іонно-електронної спектроскопій, а також при дослідженні кристалів методом дифракції повільних електронів.