Open AccessМодель локального ионно-лучевого осаждения платины сфокусированным пучком ионов
Author(s) -
Д.Г. Лапин,
Московский технологический университет,
И.С. Овчинников
Publication year - 2017
Publication title -
rossijskij tehnologičeskij žurnal/russian technological journal
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 2782-3210
pISSN - 2500-316X
DOI - 10.32362/2500-316x-2017-5-6-34-42
Subject(s) - computer science