z-logo
open-access-imgOpen Access
РОЗРОБКА МЕТОДУ КАЛІБРУВАННЯ СКАНУЮЧОГО ЗОНДОВОГО МІКРОСКОПУ
Author(s) -
В. Квасніков,
М. Катаєва,
Т. Шкварницька
Publication year - 2021
Publication title -
vimìrûvalʹna ta občislûvalʹna tehnìka v tehnologìčnih procesah
Language(s) - Ukrainian
Resource type - Journals
ISSN - 2219-9365
DOI - 10.31891/2219-9365-2021-68-2-9
Subject(s) - computer science
В статті досліджено методи внесення корекції у вимірювання нанооб’єктів з глибинною структурою із використанням скануючого зондового мікроскопу та розроблено методику проведення тривимірного калібрування розміру кроку датчика по поверхні вимірювального нанооб’єкту. Проаналізовано існуючі методики подібних вимірювань та доведено, що у більшості випадків при математичному розрахунку кроку датчика у нанометровому діапазоні та подальшій цифровій обробці результатів вимірювання, відсутній зв'язок між горизонтальними і вертикальними рухами, що може призвести до значних відхилень між реальними розмірами вимірювального об’єкту та його цифровою моделлю. Запропонована фізична модель процесу вимірювання, яка полягає в тому, що мікроскоп відображає висоту поверхні в ортогональному растровому вигляді та розроблена методика корекції цифрових зображень тривимірної поверхні нанооб’єкту у відповідності з еталоном, яка надає можливість вносити коригування отриманих результатів вимірювання в режимі on-line.

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.
Having issues? You can contact us here