Open AccessПідвищення експлуатаційних властивостей тонкоплівкових кремнійвмісних покриттів за рахунок оптимізації роботи системи газового живлення плазмохімічної установки
Author(s) -
Андрій Леонідович Голозубов
Publication year - 2021
Publication title -
tehnìčna ìnženerìâ
Language(s) - Ukrainian
Resource type - Journals
eISSN - 2707-9619
pISSN - 2706-5847
DOI - 10.26642/ten-2021-1(87)-4-8
Subject(s) - plasmatron , materials science , nozzle , reagent , vapours , coating , deposition (geology) , volumetric flow rate , process engineering , substrate (aquarium) , body orifice , jet (fluid) , thin film , plasma , composite material , mechanical engineering , chemistry , nanotechnology , engineering , mechanics , paleontology , physics , oceanography , quantum mechanics , neuroscience , sediment , biology , geology , aerospace engineering