Open AccessВисокочастотна плазма при атмосферному тиску як засіб осадження тонких плівок
Author(s) -
Petro Melnychuk,
V. A. Rudnitskyi
Publication year - 2019
Publication title -
tehnìčna ìnženerìâ
Language(s) - Ukrainian
Resource type - Journals
eISSN - 2707-9619
pISSN - 2706-5847
DOI - 10.26642/ten-2019-2(84)-36-42
Subject(s) - capacitive sensing , plasmatron , plasma , materials science , torch , optoelectronics , electrode , plasma torch , analytical chemistry (journal) , electrical engineering , chemistry , composite material , welding , physics , quantum mechanics , engineering , chromatography