Open AccessA nonlocal algorithm for analyzing the data of monochromatic optical control in the process of multilayer coating deposition
Author(s) -
И. В. Кочиков,
Iu. S. Lagutin,
A. A. Lagutina,
Д. В. Лукьяненко,
Alexander V. Tikhonravov,
А.Г. Ягола
Publication year - 2019
Publication title -
vyčislitelʹnye metody i programmirovanie
Language(s) - English
Resource type - Journals
eISSN - 1726-3522
pISSN - 0507-5386
DOI - 10.26089/nummet.v20r441
Subject(s) - deposition (geology) , monochromatic color , optical coating , reflection (computer programming) , layer (electronics) , maxima and minima , coating , process (computing) , reflection coefficient , optics , materials science , algorithm , layer by layer , computer science , mathematics , physics , nanotechnology , geology , mathematical analysis , paleontology , operating system , sediment , programming language
Предложен новый алгоритм определения значений экстремумов измеряемой в процессе напыления многослойного покрытия зависимости значения коэффициента отражения от оптической толщины напыляемого слоя. Алгоритм использует физическую модель процесса напыления, что позволяет использовать все данные измерений, накопленные регистрирующим прибором во время напыления слоя, в отличие от классических подходов, которые хорошо описывают зависимость коэффициента отражения только вблизи ее экстремума. Эффективность предложенного подхода продемонстрирована на примере моделирования процесса напыления 20слойного четвертьволнового зеркала. A new algorithm for determining the extrema in the dependence of the reflection coefficient on the optical thickness of the deposited layer is proposed. This reflection coefficient is measured during the deposition process of a multilayer coating. The proposed algorithm uses a physical model of the deposition process, which makes it possible to use all the measurement data accumulated by a recording device during the deposition of the layer in contrast to the classical approaches that adequately describe the dependence of the reflection coefficient only near its extremum. The efficiency of the proposed approach is shown by an example of modeling the deposition process for a 20-layer quarter-wave mirror.