Open AccessSMOOTHING THE SURFACE ROUGHNESS OF ALUMINUM NITRIDE FILMS OBTAINED BY MAGNETRON SPUTTERING
Author(s) -
Л. В. Баранова,
В. И. Струнин
Publication year - 2020
Publication title -
dinamika sistem, mehanizmov i mašin
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
ISSN - 2310-9793
DOI - 10.25206/2310-9793-8-4-7-11
Subject(s) - materials science , smoothing , sputter deposition , nitride , surface roughness , high power impulse magnetron sputtering , aluminium , surface finish , sputtering , cavity magnetron , optoelectronics , metallurgy , composite material , thin film , nanotechnology , computer science , layer (electronics) , computer vision
При получении пленок нитрида алюминия, применяемых в радиоэлектронных устройствах на объемных (ОАВ) и поверхностных (ПАВ) акустических волнах, таких как резонаторы, фильтры, датчики, методом магнетронного распыления возникает проблема из-за большой шероховатости поверхности пленок. В данной работе исследуется возможность повышения качества поверхности пленок нитрида алюминия, за счет сглаживания шероховатости ее поверхности при облучении пучком кластерных ионов аргона.