Open AccessEFFECT OF DESIGN PARAMETERS OF BAW RESONATOR ON THE FREQUENCY RESPONSE OF THE STACKED CRYSTAL FILTER
Author(s) -
T. N. Torgash,
А. Г. Козлов
Publication year - 2020
Publication title -
dinamika sistem, mehanizmov i mašin
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
ISSN - 2310-9793
DOI - 10.25206/2310-9793-8-4-67-72
Subject(s) - resonator , frequency response , materials science , filter (signal processing) , crystal (programming language) , acoustics , electronic filter , optoelectronics , computer science , physics , electrical engineering , engineering , voltage , programming language
Рассмотрены фильтры на акустически связанных тонкопленочных ОАВ-резонаторах с брэгговским отражателем. Резонатор представляет собой пьезоэлектрический преобразователь на пленках из нитрида алюминия с тонкопленочными алюминиевыми электродами и брэгговский отражатель, состоящий из пяти пар слоев пленок молибдена и алюминия. Представлены результаты моделирования амплитудно-частотных характеристик фильтра на акустически связанных резонаторах с разной площадью электродов. Показано, что с увеличением площади электродов резонатора в 4 раза происходит уменьшение относительной полосы пропускания фильтра (по уровню -3 дБ) в 1,8 раза. Фильтры с центральной частотой 2,77 ГГц и вносимыми потерями -3,1 дБ имеют относительную полосу пропускания в пределах 0,3…0,54 %. Максимальное гарантированное затухание в полосе задерживания при отстройке на 5 % составляет -34,7 дБ.