Open AccessINFLUENCE OF TECHNOLOGICAL MODES OF FORMATION OF ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE SURFACE, STRUCTURE AND ELEMENTAL COMPOSITION OF FILMS
Author(s) -
Л. В. Баранова,
В. И. Струнин
Publication year - 2020
Publication title -
dinamika sistem, mehanizmov i mašin
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
ISSN - 2310-9793
DOI - 10.25206/2310-9793-8-4-3-7
Subject(s) - nitride , materials science , aluminium , composition (language) , surface structure , surface (topology) , metallurgy , composite material , crystallography , chemistry , geometry , mathematics , art , layer (electronics) , literature
Для обеспечения оптимального сочетания свойств тонкопленочных слоев пьезоэлектрических структур и достижения требуемых характеристик резонаторов и устройств селекции и генерации сигналов на их основе, исследовано влияние технологических режимов формирования пленок нитрида алюминия на морфологию поверхности, структуру и элементный состав пленок, используемых в конструкции микроэлектронного ОАВ-резонатора с брэгговским отражателем, определены оптимальные режимы, удовлетворяющие требованиям к пленочным слоям для пьезоэлектрического преобразователя и брэгговского отражателя.