Open AccessINVESTIGATION OF PLASMA PARAMETERS OF A SINGLE-GAS ION ENGINE USING A SINGLE LANGMUIR PROBE
Author(s) -
И. С. Вавилов,
V. V. Fedyanin,
P. S. Yachmenev,
P. V. Stepen,
A. I. Lukyanchik,
К. И. Жариков
Publication year - 2020
Publication title -
dynamics of systems mechanisms and machines
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
ISSN - 2310-9793
DOI - 10.25206/2310-9793-8-3-36-45
Subject(s) - langmuir probe , plasma , single use , ion , materials science , plasma diagnostics , analytical chemistry (journal) , chemistry , physics , chromatography , nuclear physics , engineering , process engineering , organic chemistry
В настоящей работе представлены результаты экспериментального исследования параметров плазмы азота, аргона и гелия, полученной в высокочастотном ёмкостном кольцевом разряде при давлении 35 Па. Параметры определялись одиночным зондом Ленгмюра. Работа проводится в рамках проекта по разработке зазорного ионного микродвигателя с СВЧ-генерацией плазмы. Объектом исследования является ионизированный газ, образованный в кольцевом ёмкостном зазоре излучателя твердотельного СВЧ-генератора на MOSFET-транзисторе MRF284. Мощность, потребляемая СВЧ- генератором в исследовании - не более 5 Вт. В результате работы были получены вольт-амперные характеристики высокочастотного разряда в газе низкого давления, определены основные параметры плазмы.